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產(chǎn)品介紹

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熱氧化離子注入鍍膜沉積刻蝕晶圓鍵合CMP快速退火

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光刻技術(shù)--Lithography Technology光刻一種精密的微細加工技術(shù)。常規(guī)光刻技術(shù)是采用紫外光作為圖像信息載體,以光致抗光刻技術(shù)蝕劑為中間(圖像記錄)媒介實現(xiàn)圖形的變換、轉(zhuǎn)移和處理,最終把圖像信息傳遞到晶片(主要指硅片)或介質(zhì)層上的一種工藝。

 

公司提供電子束光刻、步進式光刻、接觸式光刻等光刻技術(shù),線寬最小可達10nm,多種光刻結(jié)合的先進光刻理念,實現(xiàn)您不同尺寸的光刻需求。

電子束光刻:最小線寬50nm(成熟),適合在導(dǎo)電襯底、圖形面積小的圖形加工?!?/span>

投影式光刻:stepper i7/i10/i12,最小線寬350nm,適合在標準圓片上有量加工?!?/span>

接觸、接近式光刻:MA6/BA6光刻機,最小線寬1um,適合正反套刻,襯底包容性高。

 

此產(chǎn)品屬于定制產(chǎn)品,可根據(jù)客戶需求來定制,如果需要設(shè)計,請聯(lián)系我們客服或者聯(lián)系張生,手機號碼18948798140,我們竭誠為您服務(wù)! 



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光刻技術(shù)--Lithography Technology光刻一種精密的微細加工技術(shù)。常規(guī)光刻技術(shù)是采用紫外光作為圖像信息載體,以光致抗光刻技術(shù)蝕劑為中間(圖像記錄)媒介實現(xiàn)圖形的變換、轉(zhuǎn)移和處理,最終把圖像信息傳遞到晶片(主要指硅片)或介質(zhì)層上的一種工藝。

 

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電子束光刻:最小線寬50nm(成熟),適合在導(dǎo)電襯底、圖形面積小的圖形加工?!?/span>

投影式光刻:stepper i7/i10/i12,最小線寬350nm,適合在標準圓片上有量加工?!?/span>

接觸、接近式光刻:MA6/BA6光刻機,最小線寬1um,適合正反套刻,襯底包容性高。

 

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